РКС начали производство новых микроэлектромеханических систем для перспективных спутников

       Москва. 23 сентября. ИНТЕРФАКС - Холдинг "Российские космические системы" (входит в госкорпорацию "Роскосмос") начинает производство чувствительных элементов микроэлектромеханических систем (МЭМС) нового поколения, сообщает пресс-служба РКС.
       "Эти отечественные серийные микрокомпоненты станут основой инновационных гироскопов и акселерометров, которые будут устанавливаться на перспективные космические аппараты - от кубсатов до межпланетных станций. Воздушным, наземным беспилотным системам и промышленной технике применение МЭМС обеспечит автономную высокоточную навигацию", - говорится в сообщении, распространенном в четверг.
       По информации пресс-службы, каждый чувствительный элемент нового инерциального датчика - это твердотельный кристалл, который преобразует внешние воздействия ускорения и вращения в электрические сигналы. Сами кристаллы выполнены по технологии микроэлектромеханических систем, которую РКС развивает с 2007 года.
       В сообщении приводятся слова инженера-исследователя Центра микроэлектроники РКС Максима Харламова, который отметил, что скомбинированные в инерциальную систему массой до 100 г, с габаритами менее 5х5х5 см и низким энергопотреблением, такие датчики рассчитывают и анализируют перемещения объекта и сохраняют данные о его местоположении и ориентации в пространстве.
       "Решения на основе таких чувствительных элементов обладают высоким потенциалом использования в аэрокосмической технике и промышленной индустрии, в частности, в системах автономной ориентации и навигации в межпланетных миссиях, когда заданы жесткие массогабаритные требования космического аппарата и нет возможности удаленного управления им", - сказал Харламов.
       В сообщении отмечается, что среди отечественных датчиков-акселерометров, измеряющих ускорение, самый точный - с кварцевым маятником внутри. Сегодня акселерометры с кварцевым маятником уже используются на возвращаемых космических кораблях "Союз-ТМА". Достижения разработчиков Центра микроэлектроники РКС позволили реализовать серийное производство маятников из кварца с уникальными характеристиками по точности и воспроизводимости геометрии, а значит - и точности самого датчика с одновременным снижением себестоимости.
       Другие чувствительные элементы - кремниевые - применяются в акселерометрах благодаря освоенности и низкой стоимости технологий микрообработки.
       "Сегодня самым перспективным направлением развития инерциальных датчиков признана разработка комбинированных инерциальных систем на одном кристалле. Холдинг РКС освоил формирование сложных 3D-микроструктур с применением сращивания пластин - это позволит создавать многоосевые акселерометры и гироскопы на одном герметизированном вакуумированном кристалле по технологии Wafer-Level packaging, когда инерциальная система выполнена в бескорпусном варианте", - сказано в сообщении.
       По словам заместителя руководителя отдела разработки микромеханических систем РКС Андрея Корпухина, на которого ссылается пресс-служба, решение продиктовано непрерывно растущими требованиями к массогабаритам современных космических аппаратов. "В будущем такие системы ориентации дополнят классические - по звездам или по магнитному полю Земли, позволив значительно снизить вес и энергопотребление спутников", - сказал он.
       Серийное производство многообразия микроэлектромеханических систем чувствительных элементов и других образцов high-end электроники на собственной производственно-технологической платформе позволило РКС отойти от практики поштучного, "ручного" изготовления чувствительных элементов. Сейчас они изготовляются только на пластине групповым методом без "человеческого фактора". Так многократно повышается надежность, скорость изготовления элементов и снижается их себестоимость, информирует пресс-служба.
      
       1рв ош